Скануючий електронний мікроскоп

Скануючий електронний мікроскоп – науковий прилад, який дозволяє отримувати зображення поверхні зразків з великою роздільною здатністю без руйнування досліджуваних зразків. Зображення, отримані в скануючому електронному мікроскопі, мають вигляд об’ємних і зручні для вивчення морфології поверхні. Для проведення досліджень в електронній мікроскопії поверхня зразка повинна бути електропровідною, тому поверхню покривають тонким шаром металу (до 20 нм) у вакуумному напилювачі.

Характеристики електронного скануючого мікроскопа наведені в таблиці.